青田恒韧获方富创投、明德资本的投资

       近日，北京中关村协同创新基金天使轮投资项目——青田恒韧智能科技有限公司完成Pre-A轮融资，由方富创投、明德投资共同投资。

       青田恒韧是一家半导体前道电子束量测CD-SEM设备研制商，矢志研发并生产完全替代HitachiCG5000的CD-SEM设备。目前CD-SEM设备被Hitachi进行全球垄断，其重要性和复杂程度在业内被称为天花板级难题。

       青田恒韧耗费数年时间，对CD-SEM设备的底层物理、数学、材料、软件、工艺等进行深入研究；在云服务器上构建了一台仿真CD-SEM设备，通过长时间持续数据迭代，掌握了CD-SEM的全部技术图谱；从设备系统级向下分解层层技术指标直至核心零部件的制作工艺，自主全面掌握know-how的每个细节，为从顶层研发和制造CD-SEM设备提供了坚实基础。

       青田恒韧创始人赵博士表示：“研制CD-SEM设备的核心底层问题是：在不损坏光刻胶的前提下，如何用扫描电镜来测量绝缘体（光刻胶）。核心底层问题又嵌套了大量的非核心理论问题和工艺问题需要处理，这些问题相互制约，所以CD-SEM设备的底层问题解决至少需要几年，甚至十几年、几十年。如果不清楚这一点，就贸然开始研制CD-SEM设备，必然只能研制出一堆废铁。只有把底层核心问题和大量非核心问题全部解决，才能看到CD-SEM的设备全貌。在未看到CD-SEM设备全貌的前提下，就贸然开始研制CD-SEM设备，仍然只能研制出一堆废铁。”

       青田恒韧不畏挑战、既抢时间又稳扎稳打，目前基本完成底层理论剖析和整体架构搭建，产品研发取得重大阶段性胜利。