电子腔设计软件,是一款在服务器上运行的大型仿真软件。该软件能够提供从场源发射到样品的整体仿真,能够实现近轴仿真、偏轴仿真、远轴仿真、奇点轨迹分析、球差色差衍射像差仿真分析、束斑大小、高斯轨迹的像差分析等,对电子腔内部的任何位置都能实现精确计算,从而为设计电子显微镜提供必要的仿真参数。
1、三次拟合算法叠加微扰算法建立高精度大范围电磁场模型;
2、多线程计算,大幅减少运算量,提升服务器运算效率;使原先需要数周才能完成运算的大型仿真模型,在1-2天内就能完成。
3、束斑追踪运算模型,任意位置的束斑大小,在服务器上均能得到束斑大小、束斑内电子密度分布、束斑内电子能量方向等特性分析、束斑内色散特性分析等。
4、束斑自适应精度算法,在服务器上能实现精度达到0.05nm的超高精度仿真结果。
5、场源—电子腔联合仿真模型,从场源电子束的微小色散联合仿真到束斑,运算出整体电子束像差系数,为电子腔设计提供大量的参数。