CD-SEM设备
CD-SEM设备
CD-SEM（Critical Dimension Scan Electronic Microscope 关键尺寸扫描电子显微镜）是一种半导体前道量测设备，用于量测芯片生产过程中所产生的各种图案的关键尺寸，以检测芯片生产工艺的稳定性，并确保芯片生产的良率。CD-SEM是一套全自动化的半导体检测设备，它包含非常复杂的硬件系统和软件系统。CD-SEM的主要功能是监测光刻机光刻效果、量测刻蚀机刻蚀效果，是半导体产线的核心装备。