回收国产CD-SEM设备
回收国产CD-SEM设备
CD-SEM存在测量不准确、长时间使用后测量不稳定（验收时，与其他产线设备已完成匹配；使用一段时间后，设备之间无法匹配；量测结果误差远超可容忍范围）、CD-SEM过了质保期后，无法及时提供维护等问题。CD-SEM在产线上已经不能发挥该有的作用。